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8711 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對(duì)氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以速度的響應(yīng)。一個(gè)直動(dòng)式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備的控制特性。8711 型設(shè)備可以針對(duì)兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。作為電氣接口，既提供模擬標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，也提供現(xiàn)場(chǎng)總線。8711 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗(yàn)臺(tái)。
標(biāo)稱流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
測(cè)量精度和重復(fù)性高
調(diào)控速度特別快
選配：現(xiàn)場(chǎng)總線接口
