日本富士FUJI超聲波高精度單成分濃度計

日本富士FUJI超聲波高精度單成分濃度計

產(chǎn)品簡介
高精度·高穩(wěn)定測量等，成為回答顧客的需求的FUD-1 Model-13的上位機種被定位的模型。

日本富士FUJI超聲波高精度單成分濃度計

FUD-1　Model-130

單成分濃度計的特點

Model-130是重視測量濃度穩(wěn)定性的概念模型
半導(dǎo)體制造工序等的高精度·高穩(wěn)定濃度計方面被認為是必要的景色發(fā)揮效果。
優(yōu)點，優(yōu)點

高精度連續(xù)計測可能
無需定期調(diào)整、校對，無需維護
設(shè)置時的各種調(diào)整等不需要也容易設(shè)置
由于實時輸出的工程的反饋也容易

用途

在CMP工序中的CMP襯墊或氧化劑濃度管理等
稀釋工程的各種藥液濃度管理等（H2O2?TMAH?HNO3?H2SO4?HCl等）
在清洗過程中的清洗液濃度管理等（HF?NH4OH?KOH?IPA等）
蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等（HF?H2SO4等）

規(guī)格

形式：FUD-1 Model-130
測量參數(shù)超聲波傳播速度?溫度
顯示：LCD(濃度、溫度、音速/各種參數(shù))
輸出信號DC4～20mA (濃度值可任意設(shè)定)
數(shù)字RS232C (濃度、溫度、音速、錯誤代碼)
警報上限測量異常.
電源AC100V～240V 50/60Hz兩用30VA (DC24V也可使用)
結(jié)構(gòu)：面板掛載型（根據(jù)DIN標準）
功能輸出范圍設(shè)定功能、警報輸出設(shè)定功能、濃度顯示移動平均功能、濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能、自我診斷功能、安全功能、異常值取消功能
選項溫度輸出（DC4～20mA）
頻道大10Ch
電纜6m
接液部材PFA涂層
接頭稱呼直徑1/2～1英寸可對應(yīng)各種
測量環(huán)境轉(zhuǎn)換器
10～40℃
RH85%以下
發(fā)信器5～45℃
測量液溫度0～50℃
耐壓0.3MPa
流量5l/min以下

如有需求，請見：  日本富士FUJI超聲波濃度計